双管滑动快速加热冷却炉

产品型号

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、采用高纯Al₂O₃保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发生CVD反应。

3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管。

4、配有四通道质量流量计控制4路气体，及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

技术参数

1、电源：单相208V-240V AC  50Hz/60Hz  2.5KW（20A保险丝）

2、石英管：外管外径?100mm，内径?96mm，长1400mm

内管外径?80mm，内径?75mm，长1400mm

3、加热区：440mm

4、恒温区：120mm（双温区炉可获得240mm）

5、工作温度：最高温度1100℃，连续温度1000℃

6、控温精度：±1℃

7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

8、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封

10、流量计：4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示）

                      MFC1范围0-100sccm    MFC2范围0-200sccm

MFC3范围0-200sccm    MFC4范围0-500sccm

11、流量精度：0.2%

12、进出气口：1/4"卡套

产品规格

尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg