大平台无穷远芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业。可进行偏光与明视场、暗视场观察转换。专门设计的大移动范围载物台，移动范围:8"×8"(204mm×204mm)，满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:0.7μm。三目镜筒，可进行100%透光摄影。
标准配置：
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技术规格 |
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目镜 |
大视野 WF10X(视场数Φ22mm) |
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无限远长距平场消色差物镜 |
LW400LJT |
PL L5X/0.12 工作距离：26.1 mm |
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PL L10X/0.25 工作距离：20.2 mm |
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PL L20X/0.40 工作距离：8.80 mm |
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PL L50X/0.70 工作距离：3.68 mm |
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PL L80X/0.80 工作距离：1.25 mm |
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LW400LMDT |
PL L5X/0.12 BD 工作距离：9.70 mm |
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PL L10X/0.25 BD 工作距离：9.30 mm |
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PL L20X/0.40 BD 工作距离：7.23mm |
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PL L50X/0.70 BD 工作距离：2.50 mm |
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PL L80X/0.80 BD 工作距离：1.25 mm |
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目镜筒 |
三目镜30?倾斜, 可100%通光摄影 |
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落射照明系统 |
LW400LJT |
6V30W卤素灯，亮度可调 |
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LW400LMDT |
12V50W卤素灯，亮度可调 |
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内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置，推拉式检偏器与起偏器 |
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调焦机构 |
粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:0.7μm |
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转换器 |
五孔(内向式滚珠内定位) |
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载物台 |
机械式载物台，外形尺寸：280mmX270mm，移动范围：横向（X）204mm，纵向（Y）204mm |
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